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Kashiyama SDL 系列干式真空泵
    發(fā)布時間: 2018-11-22 15:42    
Kashiyama SDL 系列干式真空泵

樫山 KASHIYAMA SDL系列干式真空泵機組用于獲得真空排氣和維護所需的真空源。

適用于半導(dǎo)體、液晶面板等行業(yè)的大排氣量干泵。嚴(yán)苛制程上為SDE系列,輕制程上為SDL系列。

  • 可用于大尺寸晶圓和FPD。

  • 通過組合提供大容量。

  • 大于150kl/min也可按需提供。

  • 大容量atm左右,可實現(xiàn)高壓泵送。

  • 適用于大型L/L箱。


KASHIYAMA真空泵SDL Series系列規(guī)格

型號

SDL12E50

SDL20E50

SDL36E60

SDL3600

最大排氣速度

 [L/min] *1

25,000

50,000

60,000

60,000

極限真空度 [Pa] *1

0.8

0.5

0.8

電源電壓 (50/60Hz)

3Phase AC200~220V,?380~480V














曲線圖


 


行業(yè)應(yīng)用:

半導(dǎo)體制造、液晶顯示制造、真空干燥、真空填充、鋰電池干燥、分子泵前級泵、質(zhì)譜儀、加速器等。



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