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快速、高效、創(chuàng)新，基于多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)
樫山 KASHIYAMA SDE系列干式真空泵用于獲得真空源，以實(shí)現(xiàn)真空排氣和維護(hù)。
適用于半導(dǎo)體器件和液晶顯示單元制造過(guò)程中，真空條件、反應(yīng)氣體和生成氣體的排放以及工藝室和預(yù)處理室的潔凈度。
1.可達(dá)到200kL/min.
2.適合大尺寸晶圓和FPD使用。
3.重型SDE系列，節(jié)能大排量，適合于復(fù)雜工藝流程。
KASHIYAMA真空泵SDE系列規(guī)格
產(chǎn)品 | SDE1220 | SDE20M20 | SDE30M20 | SDE4060 | SDE4030M20 | SDE8060 | SDE804060 |
抽速[L/min] | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 60,000 | 80,000 | 120,000 | 190,000 |
極限壓力[Pa] | 0.5 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 0.5 | ||
電源電壓(50/60Hz) | 3 Phase AC200～220V，380～480V | ||||||
尺寸[mm] 寬W*高H*長(zhǎng)L | W:400 H: 780 L:930 | W:450 H: 950 L:1000 | W:450 H: 950 L:1000 | W:750 H: 1200 L: 1600 | W:800 H: 1580 L:1320 | W:850 H: 1220 L: 1600 | W:1000 H: 1980 L:1850 |
行業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體制造、液晶顯示制造、真空干燥、真空填充、鋰電池干燥、分子泵前級(jí)泵、質(zhì)譜儀、加速器等。
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