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浚和（上海）儀器科技有限公司 全國服務(wù)熱線：021-52960695
浚和（上海）儀器科技有限公司
Zeon Wo (Shanghai) Instrument  Technology Co.,Ltd.
專業(yè)售前售后技術(shù)支持
快速、高效、創(chuàng)新，基于多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)

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YAMATO等離子清洗機(jī)PR500/510/1000 DP模式、桶型
    發(fā)布時間: 2019-03-25 11:59    
YAMATO等離子清洗機(jī)PR500/510/1000 DP模式、桶型

等離子灰化機(jī)PR系列——低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制 PR510/1000：自動觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510/1000）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

硅晶圓灰化狀態(tài)

用途：

● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)

特點(diǎn)：

大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔

小型一體化設(shè)計(jì)

操作簡單的觸摸屏方式（PR510型/1000）



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