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浚和（上海）儀器科技有限公司全國服務(wù)熱線：021-52960695

浚和（上海）儀器科技有限公司

Zeon Wo (Shanghai) Instrument Technology Co.,Ltd.

專業(yè)售前售后技術(shù)支持

快速、高效、創(chuàng)新，基于多年行業(yè)經(jīng)驗

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YAMATO潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C 潔凈度100級，氧濃度20ppm

發(fā)布時間: 2019-11-09 13:20

商品信息

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

特點
● 最高工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。
● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。
● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作，自動/手動兩種運行模式。

安全性
● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護開關(guān)等安裝裝置。

規(guī)格：

型號			DTN430C			DTN630C	DTN450C	DTN650C
方式			氮氣置換+ 強制送風(fēng)循環(huán)
性能	使用溫度范圍		室溫+50～360℃				室溫+50～500℃
	溫度調(diào)節(jié)精度		±0.5℃（at360℃）				±1.0℃（at500℃）
	溫度分布精度		±5.0℃（at360℃）				±8.0℃（at500℃）
	最高溫度到達時間		約80分鐘				約110分鐘
	氧濃度		20ppm 以下
	氧濃度到達時間		≤ 20分（250L/min 氮氣）			≤ 25分（250L/min 氮氣）	≤ 20分（250L/min 氮氣）	≤ 25分（250L/min 氮氣）
	潔凈度		溫度恒定時100級
構(gòu)成	內(nèi)裝		不銹鋼板
	外裝		冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝
	斷熱材		硅酸鋁棉
	加熱方式		不銹鋼加熱管
	加熱功率	主加熱器	6.75KW		9KW		9.5KW	14.2KW
		N2預(yù)熱	1KW
	冷卻機構(gòu)		不銹鋼冷卻水換熱器
	HEPA過濾器		集塵效率：0.3um粒子99.97%以上
控制器	溫度控制方式		PID控制
	溫度控制器		液晶觸摸屏+PLC
	運行功能		手動定值運行、自動程序運行
	程序模式		程序運行9個，每個程序可設(shè)置9步（可擴展）
	附加功能		操作員等級認證
	加熱器回路控制		SSR驅(qū)動
	傳感器		K型熱電偶（溫度控制及過升防止器）
安全裝置			門檢測開關(guān)、過升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、風(fēng)機過載檢測、過電流漏電保護開關(guān)等
規(guī)格	內(nèi)尺寸（寬×深×高mm）		450×450×450		660×500×660		450×450×450	660×500×660
	外形尺寸（寬×深×高mm）		1090×950×1540		1300×1000×1750		1240×1010×1750	1450×1060×1960
	內(nèi)容積		91L		216L		91L	216L
	棚板層數(shù)/層間距		12層/30mm		19層/30mm		12層/30mm	19層/30mm
	排氣口		40KF法蘭
	氮氣入口		Rc1/2
	冷卻水入口		Rc3/4
	熱水出口		Rc3/4，2個
	電源（50/60Hz）額定電流		3相AC380V 16A	3相AC380V 19A			3相AC380V 20A	3相AC380V 27A
	重量		約900kg	約1100kg			約900kg	約1100kg
選購品			棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能