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Kashiyama  MU-X 系列干式真空泵用于半導(dǎo)體器件和液晶顯示單元制造過程中的真空排氣、真空狀態(tài)的維護、反應(yīng)氣體和生成氣體的排氣以及過程室和預(yù)處理室的清潔。

1.消耗功率0.35kW

2.占地面積極小

3.適用于各種工具。

4.適合L/L和輸送室等清潔泵送。

5.支持SEMI/CE/NRTL安全認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)

曲線圖

行業(yè)應(yīng)用：

半導(dǎo)體制造、液晶顯示制造、真空干燥、真空填充、鋰電池干燥、分子泵前級泵、質(zhì)譜儀、加速器等。