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浚和（上海）儀器科技有限公司 全國服務(wù)熱線：021-52960695
浚和（上海）儀器科技有限公司
Zeon Wo (Shanghai) Instrument  Technology Co.,Ltd.
專業(yè)售前售后技術(shù)支持
快速、高效、創(chuàng)新，基于多年行業(yè)經(jīng)驗

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kashiyama MUP系列 干式真空泵
    發(fā)布時間: 2026-04-23 15:01    
kashiyama MUP系列 干式真空泵

1.Process耐受性和節(jié)能性能進一步發(fā)展。

2.在蝕刻等中等工藝中，實現(xiàn)低功耗。

3.Process密封性持續(xù)優(yōu)化。

4.行業(yè)內(nèi)較小占地面積。

5.較小外觀設(shè)計，在品牌的20000L/min級別中，占地面積減少32%。

5.符合相關(guān)行業(yè)標準。

6.擁有相關(guān)安全認證。符合SEMI/CE/NRTL各安全認證標準的高可靠性設(shè)計（MUH不支持NRTL）。


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